Τα μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) είναι η ενοποίηση μηχανικών στοιχείων, αισθητήρων, ενεργοποιητών και ηλεκτρονικών σε ένα κοινό υπόστρωμα πυριτίου μέσω τεχνολογίας μικροκατασκευής. Ενώ τα κλασικά ηλεκτρονικά κυκλώματα κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας ακολουθίες διεργασιών ολοκληρωμένου κυκλώματος (IC) (π.χ. διεργασίες CMOS, Bipolar ή BiCMOS), τα μικρομηχανικά εξαρτήματα (MEMs) κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας συμβατές διαδικασίες “μικρομηχανικής” που χαράσσουν επιλεκτικά μέρη του πυριτίου ή προσθέτουν νέα δομικά στρώματα για τη διαμόρφωση των μηχανικών και ηλεκτρομηχανικών συσκευών.
Εκπαιδευτική και Ερευνητική Ομάδα του:
Πανεπιστημίου Θεσσαλίας
STEAM – ENGINEERING – ROBOTICS – INFORMATICS
